Научная работа
20-й Семинар по теоретической физике
Научный руководитель: заведующий кафедрой нанотехнологий и
микросистемной техники физико-математического института ПГНИУ,
д.ф.-м.н, профессор, А.Б. Волынцев
Название доклада: Физико-химические особенности реактивного ионного
травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
Научная специальность: 1.3.8. Физика конденсированного состояния
Аннотация:
Работа посвящена изучению физико-химических особенностей процесса
реактивного ионного травления (РИТ) тонкопленочного ниобата лития в
плазме газовой смеси SF6/Ar. Данный процесс применяется в качестве
ключевого этапа технологии формирования высококонтрастных канальных
волноводов фотонных интегральных схем.
В работе представлена новая качественная физико-химическая модель,
позволяющая описать влияние параметров процесса РИТ (давление в
вакуумной камере, мощности на источниках плазмы, состав газовой смеси)
и реальной структуры кристалла тонкопленочного ниобата лития
(дислокационная структура, точечные дефекты после процесса протонного
обмена) на кинетику процесса РИТ. Также, в рамках настоящей работы
представлены результаты экспериментального исследования процесса РИТ
тонкопленочного НЛ, представляющие собой валидацию основных положений
представленной модели. В частности, впервые представлено теоретическое
и экспериментальное исследование процесса вторичной конденсации
нелетучего продукта травления LiF на поверхность ниобата лития в
процессе РИТ. Изучение данной особенности является крайне важным с
прикладной точки зрения, так как рост пористой пленки LiF на
обрабатываемой поверхности приводит к необратимой деградации
поверхности тонкопленочного НЛ и делает невозможным его использование
для задач изготовления фотонных интегральных схем.
Семинар по теоретической физике
Семинар по теоретической физике
Шрёдингера рассчитаны спады свободной индукции в ансамблях спиновых кластеров, состоящих из малого числа частиц, и получены аналитические оценки для динамики их осреднённой намагниченности.
Семинар по теоретической физике
18 октября состоится очередное заседание Семинара по теоретической физике,
В работе на примере основных компонентов волоконно-оптического гироскопа рассматриваются факторы, влияющие на радиационный отклик волоконно-оптических компонентов при непрерывном и импульсном ионизирующем излучении.
Семинар по теоретической физике
18 сентября состоится очередное заседание Семинара по теоретической физике,
Разработана новая физико-математическая модель транспорта паров кремния в условиях среднего вакуума, позволяющая объяснить аномально интенсивный массоперенос кремния в ходе высокотемпературного силицирования пористого углеродного материала. Полученное модифицированное уравнение диффузии позволяет количественно определять поток газообразного кремния в образец, что крайне востребовано при реализации технологии карбидизации углеродного волокна и последующего полного насыщения пор силицируемого изделия непрореагировавшим кремнием. Демонстрация предлагаемого подхода производится на примере двумерных расчетов, выполненных методом конечных разностей, однако предлагаемая модель легко обобщается на случай трехмерных вычислений со сложной геометрией, с чем всегда приходится иметь дело в реальном технологическом процессе.
Семинар по теоретической физике
Семинар по теоретической физике
Семинар по теоретической физике
Семинар по теоретической физике
Информация для подключения в Zoom – по запросу.