Пермский гидродинамический семинар

Обсуждается новое нелинейное уравнение массопереноса паров кремния в разреженной газовой среде применительно к технологическому процессу парофазного силицирования. В связи с этим проводится критический анализ уравнения переноса тепла в рассматриваемых условиях. Сравнение расчетов с экспериментальными данными показывает, что классическая диффузия не в состоянии объяснить наблюдаемый в опыте интенсивный массоперенос кремния. В то же время для материальных параметров, соответствующих реальным условиям технологического процесса, параметр конвективного переноса, появляющийся в новом уравнении, принимает такое значение, что нелинейное слагаемое в нем становится главным, в результате чего градиент концентрации кремния на поверхности изделия увеличивается примерно на порядок. Оценки показывают, нелинейность, учитывающая дополнительный конвективный массоперенос в рассматриваемой системе позволяет согласовать расчетное время силицирования изделия с экспериментальным значением.